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俄罗斯首台光刻机制造完成/350纳米工艺

2024-05-27 15:53 谐音歌词网

据塔斯社报道,俄罗斯第一台能够生产最大350nm(行业一般说0.35μm)尺寸芯片的光刻机已经制造并正在测试中。俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里·什帕克(Vasily Shpak)在CIPR期间向塔斯社报告了这一点。

他表示,“我们组装并制造了第一台国产光刻机。作为泽廖诺格勒技术生产线的一部分,目前正在对其进行测试。”俄罗斯接下来的目标是在2026年制造可以支持130nm工艺的光刻机。

去年10月有报道称,第一台俄罗斯国产130nm光刻机原型可能在2026年之前问世。

再下一步,将是开发90nm光刻机。他说:"我们将继续逐步向90nm及以下迈进。因此,俄罗斯不会止步于此,同时已经在实施一项全面的电子工程项目。

尽管350nm的芯片虽然被认为是大尺寸芯片,但仍具备一定实际的意义,可用于许多行业,包括汽车行业、能源和电信行业。

欧盟此前在俄罗斯武器上发现大量民用芯片,包括洗衣机,洗碗机等家电用具。

目前还不太清楚俄罗斯所说的350nm(0.35μm)光刻机是哪种类型光刻机,此前俄媒曾提到过基于同步加速器和/或等离子体源”的无掩模X射线光刻机,而从目前来看350nm(0.35μm)的波段达到i线(365nm)。历史上,350nm(0.35μm)诞生于1995年,现在依然拥有产品应用,主要是一些不太刚需制程的特色工艺产品,比如模拟芯片、功率半导体、传感器或者低端MCU、军工产品。除此之外,其应用可能还包括各类FPV和“自杀小摩托”这些属于一次性用品,使用时间比较短。

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